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PVD镀膜机常用的靶材有哪些?

2024-06-20 14:11:17

PVD镀膜机常用的靶材主要包括以下几种:

钛靶材:

钛氮化物(TiN):颜色为金黄色,具有高硬度和耐磨损性,常用于切削工具、模具和装饰性涂层。

钛碳氮化物(TiCN):颜色为玫瑰金,硬度和抗磨损性能优于TiN,广泛应用于高负荷切削工具和耐磨部件。

钛氧化物(TiO₂):颜色随厚度变化,如蓝色、紫色等,常用于光学镀膜和装饰性涂层。

锆靶材:

锆氮化物(ZrN):颜色为金黄色,具有高硬度和耐腐蚀性,常用于装饰性涂层、切削工具和模具。

锆碳氮化物(ZrCN):颜色为深黑色,用于高性能切削工具和耐磨机械零件。

锆氧化物(ZrO₂):颜色透明或白色,具有优异的热稳定性和电绝缘性能,广泛应用于高温环境、电子器件和医用陶瓷领域。

金(Au)和银(Ag)靶材:

金靶材:镀膜颜色为经典的金色,具有出色的抗氧化性,广泛应用于高端装饰品和电子产品的接触点。

银靶材:产生银白色镀膜,具有高反射率和良好的导电性,是镜面装饰和电气接触材料的理想选择。

铬(Cr)靶材:

铬镀膜为银灰色,具有高硬度、耐磨性和抗腐蚀性,是汽车零部件和工具涂层的选择。

铜(Cu)靶材:

铜镀膜为红铜色,不仅提供独特的温暖色调,还因其优良的导电性而被应用于电子器件的镀膜。此外,铜薄膜还具有抗菌性质。

钼(Mo)靶材:

钼镀膜为深灰色,以其卓越的耐热性和机械强度在航空航天和高温工业应用中占有一席之地。

其他靶材:

除了上述靶材外,PVD镀膜机还可能使用其他金属靶材,如镍、铟等,具体取决于镀膜的应用需求。

总结来说,PVD镀膜机常用的靶材多种多样,每种靶材都有其独特的颜色、性能和应用领域。选择适当的靶材对于获得理想的镀膜效果至关重要。

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