0757-86136159

pvd镀膜机
NEWS CENTER
新闻中心

为客户提供个性化的解决方案以及快捷优质的售后服务

磁控溅射镀膜机的维护和保养有哪些注意事项?

2024-06-06 09:45:50

磁控溅射镀膜机的维护和保养注意事项主要包括以下几个方面:

一、维护保养周期

Mo线保养周期:15天

CIGS线保养周期:30天

ZnO线保养周期:60天

AZO线保养周期:20天

AR线保养周期:60天

基片架更换周期:60天

这些周期性的保养是确保磁控溅射镀膜机长期稳定运行的基础。

二、维护保养项目

更换阳极罩:确保阳极罩处于良好状态,无破损或污染。

更换防污板:定期更换防污板,以保持设备的清洁和减少污染。

清理靶基座:清理靶基座上的杂质和残留物,确保溅射效果。

清洁腔室:对腔室进行彻底清洁,避免沉积物对设备性能的影响。

更换基片架:根据更换周期,及时更换基片架,保证加工质量。

三、作业前准备

申请停机并通知相关人员,确保在维护过程中没有人员误操作。

准备必要的防护用具和工具,如安全防砸鞋、护目镜、防护手套等。

准备好需要更换的备件,并使用无尘布和异丙醇擦洗干净。

四、设备关机步骤

关闭靶电源、靶平移、气体流量阀门。

将自动运行模式切换为手动模式。

打开工艺室和进、出片室之间的门阀,并关闭进出片室的机械泵组提升阀和泵,关闭分子泵。

待分子泵转速降为0后,等待2分钟关闭分子泵的挡板阀和前级阀。

关闭工艺室机械泵组的提升阀和泵组,并破空使腔室处于大气状态,打开进片室与外部大气之间的门阀。

五、设备保养注意事项

在拆卸和安装部件时,注意使用正确的工具和方法,避免损坏设备。

在清洁设备时,使用专门的清洁工具,避免使用硬质物品以免划伤设备。

对于发现的异常情况,如振动、泄漏等,应及时进行处理并记录。

定期检查和更换易损件,如压制器等,以确保设备的正常运行。

其他注意事项

减少真空室暴露在大气中的时间,避免氧化或尘埃污染。

使用过的沉积衬底应通过清洗去除残留材料,以提高下次沉积的精度。

在进行维护和保养时,务必遵守相关的安全规定和操作规程,确保人员和设备的安全。

通过以上步骤和注意事项的严格执行,可以有效地维护和保养磁控溅射镀膜机,确保其长期稳定运行和高效加工。


20201020091635_693.jpg

最近浏览:

联系我们

武先生:13929969711

座机:0757-86136159

营业执照

邮箱: info@foxinzk.com

官网:www.foxinzk.com

3e5ba90532fe1b580d28c59c9d7d5bc7.png

Copyright © 佛山市佛欣真空技术有限公司 粤ICP备14055032号 主要从事于pvd镀膜机,真空镀膜机,溅射镀膜机, 欢迎来电咨询!
服务支持:舍予科技