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检查泄漏情况是保证真空镀钛机真空度的一种检查方法，简称检漏。真空的凹凸度直接影响镀膜的作用，因此检漏是必不可少的。
通常情况下，真空室的漏气是由腔壁上的一些孔或元件前的薄接头引起的。抽气系统抽气时，真空室内压力降低。内外压差使气体从外部高压流向低压真空室，造成真空度降低。在检漏过程中，为了做好检漏工作，有必要注意一些问题。
首先，检查虚漏是否仍为实漏，因为工件数据加热后会出现不同程度的气体，有可能被误认为是从外部流出的气体，这就是虚漏，要消除这种情况。
第二，测试真空室的气密性功能，确保气密性功能符合要求。
三、检查漏孔的大小、形状、方位、漏速，编制解决方案并实施。
四、得出检测仪器检漏的检出率和灵敏度，要检查刻度的泄漏情况，防止一些泄漏孔被疏忽，提高泄漏检测的准确性。
五、掌握检漏仪的反应时间和消除时间，把握好时间，保证检漏仪操作到位，时间少，检漏功能一定差，时间长，浪费检漏气和人工电。
六、还要防止泄漏堵塞，有时由于操作失误，在检漏过程中，一些灰尘或液体将泄漏堵塞，认为孔的方向没有泄漏，但当由于内外压差进展或其他原因导致泄漏孔未堵塞时，泄漏仍在那里。做好真空镀膜机的检漏工作是非常重要的。真空度降低的原因是多方面的。我们应该逐一解决这些原因，稳定涂料的作用。
