真空镀膜机的真空室形变的检测

2022-11-01 11:36:52

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　为了大限度地减小 真空镀膜机真空室变形的影响，我们将导轨、丝杆等传动部件固定在一个刚性中间层上，在传动部件与真空室底壁之间采用点、线、面主动支撑来吸收和隔离变形，并设置了变形补偿调节机构。在系统抽真空之前，我们根据有限元计算提供的理论数据预设合适的补偿量，使其在真空状态下达到平衡。这样的真空设计也使得目前的真空镀膜机能够在真空环境下正常镀膜，避免了外界因素的影响。

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　　为了验证有限元计算的结果，对真空室的变形和补偿进行了试验。首先，将四个百分表放置在工作台安装基点的真空墙外。当真空室从大气中抽空时，记录每个千分表的变化。归一化后，用激光自准直仪调整变形补偿。水平自准直仪发出的激光束穿过真空室的玻璃窗，照射固定在工作台上的反射镜。在大气环境中调整变形补偿调整机构，使反射光束进入自准直仪的接收视场，记录二维角度偏差。需要对这些数据进行分析和处理，以获得测试结果。