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磁控溅射镀膜机的使用步骤是什么?

2022-10-26 11:04:58

磁控溅射镀膜机所需的涂层称为基底,涂层材料称为目标材料。基底和目标材料都在真空腔中。蒸发涂层通常以原子基团或离子的形式加热目标材料。并通过成膜过程(散点岛结构-模糊结构层生长)沉降在基底表面形成薄膜。对于溅射涂层,可以简单地理解为使用电子或高能激光轰击目标材料,使表面成分以原子基团或离子的形式溅射,沉积在基底表面,体验成膜过程,形成薄膜。


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使用步骤:


操作:


1.开水泵,气源。


2.打开总电源。


3.开维持泵,真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后再进入下一步。大约需要5分钟。


4.开机械泵,打开涡轮分子泵电源,并启动,将真空计开关更改为V2位,抽到小于2,大约需要20分钟。


5.观察涡轮分子泵读数达到250后,关闭预泵,打开前泵和高真空阀继续抽真空,打开右高真空表头观察真空度。真空达到2×电子枪电源只有在10-3之后才能打开。


操作:


1.总电源。


2.同时打开电子枪控制Ⅰ电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源,延迟开关,延迟.电源和保护灯亮起,三分钟后延迟,保护灯熄灭。若后门未关闭或水流继电器故障,保护灯将永远亮起。


3.打开高压,高压将达到10KV以上,调节束流可达200mA大约20个窗帘栅V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流为1~1.7之间摆动。


顺序:


真空表头关闭,关分子泵。


2.当分子泵显示到50时,高阀依次关闭,前级,机械泵,这段时间大约需要40分钟。


3.50以下时,关闭维护泵。


磁控溅射镀膜机适用范围:


1.建筑五金:卫浴五金(如水龙头),五金合叶,家具等。


2.制表工业:可用于表壳,表带涂层,水晶制品。


3.其他小五金:皮革五金、不锈钢餐具、眼镜框、刀具、模具等.


4.大型工件:汽车轮毂,不锈钢板、招牌、雕塑等。


5.不锈钢管和板(各种表面)


6.家具、灯具、宾馆用具。


7.锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器皿等五金产品镀超硬装饰膜。


8.手表、表带、眼镜、珠宝等装饰品采用超耐磨装饰(金银)纳米膜、纳米膜和纳米叠层膜。


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