0757-86136159

pvd镀膜机
NEWS CENTER
新闻中心

为客户提供个性化的解决方案以及快捷优质的售后服务

真空镀膜机出现膜脏该怎么办?

2022-09-23 14:55:00

镀膜产品的常见问题,部分是镀膜工序的本身造成的,部分是前工程遗留的问题,镀膜Z终的品质是整个光学零件加工的(特别是抛光、清洗)的综合反映,对于出现镀膜不良时必须综合考虑,才能真正找到不良产生的原因,对策改善才能取得成效。



真空镀膜机,钛金炉,pvd镀膜机,光学镀膜设备,真空镀膜设备,溅射镀膜机,电镀设备,镀膜设备,磁控溅射镀膜机,镀膜,镀钛

膜脏(也称白压克)


顾名思义,膜层有脏。一般的膜脏发生在膜内或膜外。脏可以包括:灰尘点、白雾、油斑、指纹印、口水点等。(灰尘点和白雾单列)




01


灰点脏


现象:镜片膜层表面或内部有一些点子(不是膜料点)有些可以擦除,有的不能擦除。并且会有点状脱膜产生。


产生原因:


1、真空室脏,在开始抽真空镀膜机时的空气涡流将真空室底板、护板的脏灰带到镜片上,形成灰点层。(膜内,不能擦除,会有点状脱膜)


2、镜圈或碟片脏,有浮点灰尘,在离子束作用下附着到了镜片上形成灰点层。(膜内,不能擦除,会有点状脱膜)


3、镜片上伞时就有灰尘点,上伞时没有检查挑选。(膜内,不能擦除,会有点状脱膜)


4、镀制完成后的环境污染是膜外灰点的主要成因,特别是当镜片热的时候,更容易吸附灰尘,而且难以擦除。(膜外)


5、真空室充气口环境脏、开始充气量过大、充气过滤器脏,充气时镜片温度过高也是造成镜片膜外灰尘点不良的原因。(膜外)


6、 作业员人为带来的灰尘污染(膜内膜外)


7、 工作环境中灰尘过多


改善思路:杜绝灰尘源


改善对策:


1、工作环境改造洁净车间,严格按洁净车间规范实施。


2、尽可能做好环境卫生。尽量利用洁净工作台。


3、 真空室周期打扫,保持清洁。






02


膜外白雾


现象:镀膜完成后,表面有一些淡淡的白雾,用丙酮或混合液擦拭,会有越擦越严重的现象。用氧化铈粉擦拭,可以擦掉或减轻,(又称:可擦拭压克)


分析:膜外白雾的成因较为复杂,可能的成因有:


①、膜结构问题:外层膜的柱状结构松散,外层膜太粗糙;


②、蒸发角过大,膜结构粗糙。


③、温差:镜片出罩时内外温差过大


④、潮气;镜片出罩后摆放环境的潮气


⑤、真空室内Polycold解冻时水汽过重


⑥、蒸镀中充氧不完全,膜结构不均匀


⑦、膜与膜之间的应力


改善思路:膜外白雾成因很多,但各有些特征,尽量对症下药。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善环境减少吸附的对象。


改善对策:


1、改善膜系,外层加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。改善镜片出罩时的环境(干燥、清洁)


2、降低出罩时的镜片温度(延长在真空室的冷却时间)减少温差、降低应力。


3、改善充氧(加大),改善膜结构。


4、适当降低蒸发速率,改善柱状结构


5、离子辅助镀膜,改善膜结构


6、加上polycold解冻时的小充气阀(其功能是及时带走水汽)


7、从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发角。


8、改善基片表面粗糙度。


9、注意polycold解冻时的真空度。





03


膜内白雾


白雾形成在膜内,无法用擦拭方法祛除。


可能的成因:


①、基片脏,附着前工程的残留物


②、镜片表面腐蚀污染


③、膜料与膜料之间、膜料与基片之间的不匹配。


④、氧化物充氧不够。


⑤、一层氧化锆膜料,可能对某些基片产生白晕现象


⑥、基片进罩前(洗净后)受潮气污染


⑦、洗净或擦拭不良,洗净痕迹、擦拭痕迹


⑧、真空室脏、水气过重


⑨、环境湿度大


改善思路:基片本身的问题可能是主要的,镀膜是尽量弥补,镀膜本身大的可能是膜料匹配问题。


改善对策:


1、改进膜系,一层不用氧化锆。


2、尽量减少真空室开门时间,罩与罩之间在Z短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备工作。


3、真空室在更换护板、清洁后,好能空罩抽真空烘烤一下,更换的护板等真空室部件必须干燥、干净。


4、改善环境


5、妥善保护进罩前在伞片上的镜片,免受污染。


6、改善洗净、擦拭效果。


7、改善膜匹配(考虑一层用Al2O3)


8、改善膜充氧和蒸发速率(降低)


9、加快前工程的流程。前工程对已加工光面的保护加强。


10、抛光加工完成的光面,必须立即清洁干净,不能有抛光粉或其他杂质附着干结。


Z近浏览:

联系我们

武先生:13929969711

刘先生:13590505357

座机:0757-86136159

营业执照

传真:0757-86137290

邮箱: info@foxinzk.com

官网:www.foxinzk.com

image.png         3e5ba90532fe1b580d28c59c9d7d5bc7.png

Copyright © 佛山市佛欣真空技术有限公司 粤ICP备14055032号 主要从事于pvd镀膜机,真空镀膜机,溅射镀膜机, 欢迎来电咨询!
服务支持:舍予科技