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真空镀膜设备有哪些主要部件

2022-09-17 10:50:44

   真空镀膜设备日常应用随处可见,目前最火的动力电池的正负极材料都是采用真空镀膜机双面镀铜镀铝,还有我们日常见到的化妆品包装,食品包装,药品包装等,都是采用真空镀膜机镀制一层金属膜层,达到阻隔防腐等效果。因为这些设备先进技术的出现,大大提升了人民的生活品质,下面汇成真空小编为大家详细介绍一下真空镀膜机的部件组成,希望大家对真空镀膜设备有一个初步的认识和了解:



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1、真空镀膜设备系统

       真空镀膜设备的系统主要由直流电机传动的放卷辊、收卷辊、镀膜鼓、导向辊、张力测量(控制)辊、展平辊以及电阻测试辊等部件组成,它的作用是按照速度和张力将基材薄膜输送到镀膜区进行镀制后,再将已镀膜的基材薄膜收卷成筒状卷膜。通过控制薄膜的速度、张力以及展平辊的角度等工艺参数,可以避免产生皱纹而得到收卷整齐的膜卷。


2、速度控制和张力控制

       速度控制:带状基体的线速度恒定是保持膜厚均匀的重要条件。系统带材的速度控制多数采用以电流控制为主的速度恒定控制,速度都可以根据产品的要求,事先设定、自动调节。

       张力控制:薄膜张力控制在真空镀膜机中是一个关键问题。张力控制同膜的跑偏、暴筋、起皱等现象均有关系。


3、蒸发系统由蒸发源夹座(电极)、蒸发源、送丝机构等组成。


4、PVD镀膜机真空室开启机构:大型双室半连续蒸发镀膜机的开启机构一般由真空室体,卷绕机构,密封大板,动力柜,行程开关和小车组成。根据镀膜基本材料的幅宽,确定单门还是双门开启。常见的真空室多是单门开启,蒸发器仍在镀膜室内。


5、屏蔽组件:就是要在膜上屏蔽出未镀膜的条纹或网纹,这是电容器膜的要求,普通电容器的屏蔽第纹是沿着基膜的纵向延伸的,安全电容器膜的屏蔽条纹是网纹。


6、真空镀膜机系统:一般真空镀膜机的卷绕室和镀膜室各有一套真空泵组。通常,国内外的设备所采用的真空抽气系统的蒸镀室主泵为测报扩散泵,主泵为大抽速的油扩散喷射泵。


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