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钛金炉设备构成和功能

2022-08-20 14:25:00

一、钛金炉设备构成

 

钛金炉设备主要有以下几个部分组成:1.真空系统(泵组部分),2.淀积部分,3.供气系统,4.射频系统。

 


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1、真空系统

 

真空系统主要由一系列泵和波纹管及阀门等组成,主要作用是:维持淀积腔室真空状态,保持腔室压力稳定,及时抽走反应生成的颗粒(硅粉等)。

 

2、淀积部分

 

•此部分主要包括沉积炉和工件架,主要作用是淀积所需膜质

•沉积温度:200-230℃            沉积压力:0.5-1Torr(50-133Pa)

 

3、cvd系统的供气系统

 

•主要有管道和电磁阀组成,主要作用是提供成膜所需要的特气及吹扫腔室的气体。

•反应气体:Ar、CH4、B2H6、H2、SiH4、GeH4 、PH3

•清洁气体:NF3

•吹扫气体:N2

•质量流量计量程:

•TMB (三甲基硼C3H9B )、 PH3 、GeH4 : 4000scm  

•Ar、CH4、 SiH4:15000scm

•H2:30000scm

 

4.射频系统

 

钛金炉设备的主要由RF射频电源柜组成,18分立电源控制18个电极,可对单个电极进行调节。

 

二、工作原理

 

钛金炉设备工作原理

 

2.沉积工作原理

 

在沉积腔室一定的低真空状态下,通入反应气体,待气流稳定后,打开射频电源对反应气体进行电离,进而生成所需要的膜质。

 

三、日常维护

 

每日操作人员需对沉积炉、泵、循环水、特气、RF电源,加热等系统点检。


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