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真空镀膜机常见故障有哪些?一定要注意!

2022-07-25 14:31:50

真空镀膜机出现故障后应先要向使用者了解故障的现象,之后要亲自开机观察故障,这样才能更准确、更快、更合理地排除故障。


排除故障应先检测低真空是否正常(机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室),低真空正常后再开主泵,主泵正常后检测下室真空中是否正常,下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏,直至达到真空,极限真空、保真空、恢复真空,如极限真空和保真空正常,而恢复真空和真空不正常则可能主泵有问题。


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今天给大家列举一些真空镀膜机使用过程中常见的故障和解决方法。


一、当正在镀膜时真空度突然下降


1、蒸发源水路胶圈损坏(更换胶圈)


2、坩埚被打穿(更换坩埚)


3、高压电极密封处被击穿(更换胶圈)


4、工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈)


5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)


6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)


7、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否正常)


8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈)


9、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)


10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)


二、镀膜机抽真空时间过长,且达不到真空、恢复真空、极限真空、保真空


1、蒸发室有很多粉尘(应清冼)


2、扩散泵很久未换油(应清冼换油)


3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低(应清冼换油)


4、各动密封胶圈损坏(更换胶圈)


5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈)


6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈)


7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧)


8、高低预阀是否密封可靠(注油)


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