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一、真空镀膜设备是否出现漏气、漏气现象?
1、虚漏：
虚漏是由于设计或制造工艺不当，在真空镀膜设备中形成储气源洞，这些气体在真空环境中缓慢释放，像漏风一样，称为虚漏。
例如真空镀膜设备中的紧固螺钉没有孔、焊缝交叉设计、焊接不完美带孔都会造成虚漏现象。
2、泄漏:
泄漏孔是真空镀膜设备中电真空装置直径的小泄漏孔。空气中的灰尘或液体容易造成漏孔堵塞。即使当时修复了，也是暂时的。
因此，为了检查，要仔细处理检漏部位，尽量不要用手触摸检漏区域，以免灰尘或油脂堵塞检漏孔。
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