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真空镀膜设备是否出现漏气、漏气现象?

2022-07-14 15:44:10

一、真空镀膜设备是否出现漏气、漏气现象?

1、虚漏:

虚漏是由于设计或制造工艺不当,在真空镀膜设备中形成储气源洞,这些气体在真空环境中缓慢释放,像漏风一样,称为虚漏。

例如真空镀膜设备中的紧固螺钉没有孔、焊缝交叉设计、焊接不完美带孔都会造成虚漏现象。

2、泄漏:

泄漏孔是真空镀膜设备中电真空装置直径的小泄漏孔。空气中的灰尘或液体容易造成漏孔堵塞。即使当时修复了,也是暂时的。

因此,为了检查,要仔细处理检漏部位,尽量不要用手触摸检漏区域,以免灰尘或油脂堵塞检漏孔。


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