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通常真空室的漏风是从室壁上的一些小孔或元件前的连接处开始的。当抽吸系统时，真空室的压力降低。外部与内部的压差，使气体从外部高压流向低压的真空室，真空度降低。
在检漏过程中，为了做好检漏工作，需要注意一些问题。
首先要承认虚拟泄漏的漏气仍然是真实泄漏，因为工件数据会被不同程度的气体加热，有可能会被误认为是气体从外部流动，这是虚拟泄漏，要清理掉这种情况。
二是对真空室的气封功能进行测试，确保密封功能符合要求。
第三、检查漏气孔的大小、形状、方位、漏气速度，编制处理方案并实施。
第四、确定小检的检漏率和检漏仪器的灵敏度，以大规模的检漏情况，防止一些漏孔被忽视，提高检漏的准确性。
第五、要掌握检漏仪的反应时间和消除时间，要掌握时间，保证检漏仪的操作到位，时间少了，检漏一定差，时间长了，浪费检漏气体和人工电费。
第六、还要防止泄漏堵塞，有时因为操作失误、检漏过程中，一些灰尘或液体堵住了泄漏孔，以为方向没有泄漏，但当这些堵漏材料因为内外压力进展的差异或其他原因使漏孔没有堵漏时，泄漏仍在那里。
真空镀膜设备的检漏是非常重要的，形成真空还原的原因有多种，对这些原因逐一处理，起到稳定镀膜的作用。
