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真空镀膜机抽吸系统的主要部件是分子泵的应用

2022-05-07 16:28:08

真空镀膜机分子泵是真空镀膜机抽吸系统中最重要的部件,抽吸系统的部件有机械泵、罗茨泵、分子泵和扩散泵,今天晓玲为大家详细介绍一下真空镀膜机分子泵的应用,希望对大家有所帮助:

分子泵是一种利用高速旋转的转子将动量传递给气体分子,使其获得定向速度,然后被压缩驱动至前级排气口的真空泵。由于简单牵引泵型线槽位于转子缸或泵体表面,可以充分利用缸内较高的线速度来传递气体分子的动量,提高泵的抽吸效果。

由于涡轮级抽吸面积大、抽吸速度大,而牵引级沟槽抽吸面积小,在两个结构的连接处,被涡轮叶片压缩的气体分子流动方式突然发生变化,使气体分子在连接处的运动由有序变为无序,导致回流增加,泵送能力下降。

真空镀膜机


分子泵的工作条件是转子转速达到20000r/min,所以分子泵的启动时间长。气体处于分子流动状态,因此需要配备前级泵,一般用作旋转叶片泵。油润滑分子泵有少量的润滑油,并且在真空段的前端阶段,对真空室的污染很小。润滑脂润滑的分子泵含有极少的润滑脂,前置干式泵可获得近似无油的清洁真空。全磁悬浮分子泵无需润滑,可与干式泵配合使用,获得无油洁净真空环境。

分子泵不仅应用于真空镀膜机领域,还有许多常见的应用,如分析、质谱、电子显微镜等)、半导体、电子元器件、集成电路、柔性太阳能电池等)、光学/玻璃(热防护、防反射、防反射、真空冶金(真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金、)、检漏(真空系统、汽车油箱、安全气囊、科研实验(医学MRI、核粒子物理、核聚变研究、核聚变研究、核聚变实验、核聚变实验、核聚变实验、核聚变实验等)、激光应用及更多)灯具生产及相关行业。


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