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扩散泵是真空镀膜机的主要部件，属于高真空泵，使机器能在状态下运行。通常情况下，真空镀膜机扩散泵的维护和维修非常重要。今天，我想和大家分享一下真空镀膜机扩散泵的维护知识
1.扩散泵运行时，冷却水必须畅通。停止加热后，只有在泵的工作液完全冷却后，才能关闭冷却水。
2.扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，避免泵油变质。
3.抽取的气体应干燥、无腐蚀、无尘。
4.如果扩散泵暂时不使用，储存时应保持真空，以避免泵油污染和各部件腐蚀，并将冷却水套中剩余的水吹走。保持现场室温在10-40℃之间
5.扩散泵长期运行后性能会逐渐恶化，应定期检查。如果泵油减少或氧化，应按相应要求加油或更换；应使用航空汽油清洁零件和泵室，然后用丙酮擦洗，在80-100°C下干燥或用电吹风干燥。处理后按顺序组装，保持泵芯与泵底垂直，与泵腔同心，并按原要求调整各级喷嘴间隙。
6.待水蒸发干后，安装泵芯，加入新的扩散泵油，装回机身，连接水管，安装电炉板，然后重启机器。
7.重启前注意泄漏检测。方法是：启动维护泵，关闭真空室门。几分钟后，观察真空度是否为6*10的0 PA。否则应进行检漏，检查密封橡胶圈是否在连接处缺失或压碎。必须消除漏气隐患后才能进行加热，否则扩散泵油会烧坏，无法进入工作状态。
