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在使用磁控镀膜机时,使用通常的溅射方法,发现溅射效率不是很高。为了提高溅射效率,加快工作进度。
那么如何提高这个设备的效率呢?这需要提高气体的物理化学效率。提高气体电离效率可以有效提高溅射效率。
一般来说,在适应度过程中,加速入射离子轰击目标阴极表面时会发射电子,在阴极表面产生的电子开始向阳极加速并进入负辉光区,并与中性气体原子碰撞,产生自持辉光放电所需的离子。电子的平均距离随电子能量的增加而增大,随气压的增加而减小,特别是在远离阴极的地方。它们的热壁损失也很大,这主要是因为它们的电离效率低。
因此,可以在平行阴极表面添加磁场,限制电子在阴极范围内,可以有效地提高气体原子的梨效率,从而提高磁控溅射镀膜设备的溅射效率。