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真空镀膜机是目前制造真空条件的范围很广的真空设备，一般有真空室、真空机组、电气控制柜三种工作原理。
真空题材——真空室根据不同的要求加工产品,真空室的大小是不一样的,目前应用的直径0.9米,1.3米,1.5米,1.8米,等等,商会是由不锈钢材料,不生锈,坚固,等等,每个部分的真空室连接阀,用于连接水泵。
辅助抽气系统:排气系统是镀膜机真空系统的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)和油扩散泵组成。该排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+ Polycold”组成。
排气流:机械泵将第 一个泵真空室2.0 * 10-2Pa低真空状态,为随后的真空扩散泵提供了前提,当扩散泵真空,机械泵和油扩散泵系列,以这种方式完成抽水行动。
