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通过加热使物质蒸发而沉积在固体表面上的过程称为蒸发涂层。与其他真空镀膜方法相比，蒸发镀膜具有较高的沉积速率，可用于制备简单的难熔复合膜。用于真空蒸发镀膜的装置称为蒸发镀膜机。
蒸发物质的原子或分子通过冷凝作用沉积在基材表面。蒸发式镀膜机常用的蒸发源是用来加热镀膜来汽化的蒸发装置。真空室是对零件进行电镀和镀膜的场所。直径一般为400~700mm，高度为400~800mm。采用不锈钢制造，并设有水冷却装置。在系统被抽到高真空后，坩埚被加热以蒸发其中的物质。一种蒸发系统，包括蒸发源和用于加热蒸发源的电气设备。
