0757-86136159

pvd镀膜机
NEWS CENTER
新闻中心

为客户提供个性化的解决方案以及快捷优质的售后服务

离子源技术及其在真空镀膜机上的应用

2021-12-29 15:28:17

(英文名:离子源)是将中性原子或分子电离后,铅离子束从装置中流出。它是各种离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入器、离子束蚀刻装置、离子推进器、中性束注入器和受控聚变装置中的真空镀膜机中不可缺少的部件。

气体放电,电子束碰撞气体原子(或分子),带电粒子束工作材料溅射和表面电离过程可以产生离子并被引导成束。根据不同的条件和用途,已经开发出多种类型的离子源。广泛应用的电弧放电离子源、PIG离子源、双等离子离子源和双彭离子源都是基于气体放电工艺的,通常简称为电弧源。由气体中的高频放电产生的高频离子源也得到了广泛的应用。电子回旋共振离子源(ECR)和电子束离子源(EBIS)等新型重离子源的出现,显著改善了重离子的荷电状态。负离子源有负载转移型和溅射型两种。在一定条件下,所有基于气体放电工艺的离子源都能提供一定的负离子束。离子源是一门应用广泛的学科,在原子物理、等离子体化学、核物理等许多基础研究领域中,离子源是非常重要和不可缺少的设备。

真空镀膜机


在离子源推力器实验中,发现推力器材料从离子源中飞出,开启了离子源在材料特别是材料表面改性方面的应用。离子源的另一个重要应用是高能物理。确切地说,离子加速器。简单地说,离子源是用来产生一种材料的离子,这种离子沿着磁环加速,以轰击目标,产生新的物质或揭示新的物理定律。

离子源在真空镀膜机中的作用,种类较多。离子源的主要类型有:高频离子源,电弧放电离子源,考夫曼离子源,射频离子源,霍尔离子源,冷阴极离子源,电子回旋离子源、阳极层离子源,电感耦合离子源和许多其他类型的离子来源尚未提到。虽然离子源的类型很多,但其目的无非是在线清洗、改善镀层表面的能量分布和调制以增加反应气体的能量。离子源可以大大提高薄膜与基体的结合强度,也可以提高薄膜本身的硬度和耐磨性


最近浏览:

联系我们

武先生:13929969711

座机:0757-86136159

营业执照

邮箱: info@foxinzk.com

官网:www.foxinzk.com

3e5ba90532fe1b580d28c59c9d7d5bc7.png

Copyright © 佛山市佛欣真空技术有限公司 粤ICP备14055032号 主要从事于pvd镀膜机,真空镀膜机,溅射镀膜机, 欢迎来电咨询!
服务支持:舍予科技