0757-86136159
为客户提供个性化的解决方案以及快捷优质的售后服务
电子束蒸发镀膜机用于光学真空镀膜技术，如我们手机的屏幕、跟随、相机、镜头、数码产品的屏幕等，都是有用的电子束蒸发镀膜机，光学镀膜技术已经深入到我们的生活中，形影不离，那么电子束蒸发镀膜机的结构是什么呢，下面小编就为大家详细介绍一下，希望对大家有所帮助:
电子束蒸发镀膜机主要由控制系统、真气路系统和电子枪系统两部分组成。
电子束蒸发镀膜机的真空气路有两个泵，分别是前机械泵和高真空低温泵。低温泵主要是在很低的温度下使用，根据原来的冷伞吸附来达到抽真空的目的。过程中低温高真空泵启动,机械泵将在水平管道处于真空状态,当真空管道达到一定程度时,吉祥阀将打开,这个水平之前,机械泵将继续工作,使管道和低温泵有一个真空状态,然后,原级阀是重复上述步骤。
电子束的蒸发源主要由电子枪和坩埚组成。必要时，可配套一套可以为涂布机提供原料的机械设备。在大多数情况下，产生和控制电子束的控制装置和坩埚设计集成在镀膜机中。下面是几种电子束加热蒸发源的结构;
(1)线形阴极和静电聚焦加热蒸发器。
(2)环形阴极加热，静电聚焦蒸发器。
(3)蒸发器采用轴向枪和静电远聚焦法加热。
(4)蒸发器经轴向枪加热，磁聚焦，磁偏转90度。
(5) E型电子枪蒸发器、电子束蒸发镀膜机E型电子束蒸发源发出的电子轨迹与“E”字相似，故称E型电子枪。
目前，这种形式的蒸发源在真空蒸发镀膜工艺中应用最为广泛。
