0757-86136159
为客户提供个性化的解决方案以及快捷优质的售后服务
真空镀膜机阴极目标温度对电弧有很大影响。温度控制是否及时、合理，直接影响到基材涂布效果和生产效率。因此，一般厂家一般需要聘请有涂装技术经验和了解的专业人员来操作真空镀膜机，这样既可以控制成本，又可以提高效率。真空镀膜机阴极目标温度对电弧有何影响。靶源阴极电弧燃烧的稳定性取决于阴极表面的蒸发温度。降低阴极表面温度将带来较高的电弧燃烧稳定性。同时，降低阴极蒸发表面的温度也会减少金属蒸汽中的大量粒子和大溅射。
通过对真空离子镀膜机靶阴极电弧燃烧过程的观察，发现在电弧熄灭之前，弧斑非常粗糙。有时甚至出现簇弧斑点。熄灭后，目标表面呈红色，目标表面温度非常高。粗糙弧斑的出现使电弧电流更加集中在靶表面的某一点上，导致弧斑下靶表面的弧斑电流过度集中，使弧斑下靶表面温度升高，产生大量热电子发射。靶表面大量热电子发射的结果，一方面中和了大量的空间电荷，使阴极表面的电场变为减速场，甚至使阴极表面的电场等于零。另一方面，大量热电子发射对阴极表面有相当大的冷却作用。因此，既没有空间电荷产生的强电场来维持表面发射，也没有非常高的表面温度来产生热电子发射，从而导致电弧熄灭。
因此，在真空镀膜机多弧靶源的设计中，应注意阴极靶的充分冷却。使用直接水冷却。间接水冷时，阴极底座等相邻部件应选用导热性好的材料（如铜、铝等）
