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绝大多数光学真空镀膜机采用电子枪镀膜技术，成本高、投资大、设备体积大。因此，他们更加重视光学真空镀膜机的清洁和维护。以下小编详细介绍光学真空镀膜机的维护和清洁方法，希望能对您有所帮助：
光学真空镀膜机使用一周（三班制）后，由于无方向性，镀膜材料不仅被镀在工件表面，而且被镀在工作室的衬板上，且涂层越厚，真空镀膜设备的抽气速度越慢，是因为其组织和缠绕松散，并吸收了大量气体。此时，应清洁工作间和衬板。如果不需要拆卸零件，可以用砂纸打磨。衬板可浸泡在氢氟酸水溶液中。氢氟酸和水的比例取决于浸泡时间，并且不会损坏衬板。衬板只能在干燥水后安装。干燥前，尽可能将衬板上的水擦干。在用砂纸清洁工作架和其他部件后，需要清洁真空室内的所有灰尘，并用真空吸尘器吸收灰尘。最后，安装衬板时，需要用酒精清洁真空室和衬板。由于使用电子枪和离子源辅助涂层，可能难以清洁。可采用喷砂和其他方法进行清洁。
光学真空镀膜机的扩散泵油需要定期更换。扩散泵油使用一段时间，大约两个月（两班）。由于长期的高温环境，虽然扩散泵在高真空下启动，但氧气和其他成分仍然会与扩散泵油发生反应。扩散泵油也可能在高温下开裂，这将降低其质量并延长萃取时间。当我们认为时间延长得太多时，应该更换它。机械泵油保养两个月，油质会发生变化。由于机油可能会泵入水、杂质等原因，导致机油粘度变差，真空度降低，需要更换。如果是新设备，应在使用前半个月更换，因为在磨合期，油中含有更多磨合铁粉，这将加剧磨损。
光学真空镀膜机需要定期清洁设备及其周围环境，保持设备内外清洁，保持设备周围环境整洁，有良好的工作环境，确保安全。
