真空镀膜设备的压力控制原理是什么

真空镀膜技术在工业生产和科学实验中的应用，要求真空镀膜设备真空室的真空度能满足真空工艺的操作要求，并能稳定在设定的压力值。现在用手动调节真空微调阀来完成这一要求已不多见。目前，自动调压方式常被选用，这就需要压力控制器的帮助。

涂布机压力控制器通常由真空表、真空调节阀和压力自动调节电路组成。它是集压力调节和真空测量于一体的自动控制仪表。具有自动和手动压力调节功能。其性能指标主要包括反应时间、流量控制范围、控制精度和压力控制范围等，这些性能取决于镀膜机真空调节阀、控制电路和真空表的性能。

压力控制器有自动和手动两种操作方式

1、手动操作。当开关转到手动开关位置时，压力控制器和手动调节真空微调阀一样进入手动调压模式；

2、自动的。当开关转到自动开关位置时，压力控制器将形成闭环自动控制，自动调整压力设定值。其调节原理是：首先通过压力整定装置设定控制压力值，然后根据被控对象的特点，选择PID调节单元的微分时间、积分时间和比例度。当真空表输出一个电压信号（该信号是受控涂布机真空室的压力值）时，调压系统通过比较使该值与压力设定值相同，计算出两者之间的差值，然后驱动电路和真空调节阀用于改变真空室内气体的流速，从而保持真空室内的真空度，并使其保持在其压力设定值。

当然，上述真空镀膜设备的压力自动控制是一种理想的控制状态。在实际使用过程中，常受压力控制系统中调压单元的特性影响，导致控制压力一般接近设定压力值（在允许偏差范围内）。压力控制仪表的精度越高，偏差值越小，反之亦然。压力控制器广泛应用于真空镀膜、离子束刻蚀、半导体材料、离子注入等领域。

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