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真空镀膜的三种形式介绍

2021-07-08 17:01:38

介绍了真空镀膜的三种形式:发汗法、溅射法和离子镀法。发汗涂料是将某些物质加热、蒸发,使其在固体表面堆积而成,称为发汗涂料。法拉第在1857年首次提出这种方法,现在它已成为一种常见的涂层技术。

金属、化合物等发汗物质置于坩埚内或悬浮在热线上作为蒸发源,金属、陶瓷、塑料等基材上的镀件置于坩埚前。将系统抽至高真空后,加热坩埚,使材料在其中蒸发。蒸发物质的原子或分子以冷凝的形式聚集在基质表面。薄膜的厚度从几百埃到几微米不等。薄膜厚度由发汗源的发汗速率和发汗时间(或材料负荷)决定,并与发汗源截面与基体之间的距离有关。

对于大面积涂层,通常采用旋转基体或多个蒸发源来保证涂层厚度均匀。蒸发源与基体之间的距离应小于残余气体中蒸发分子的均匀自由程,以避免蒸发分子与残余气体碰撞产生的化学效应。蒸气分子的均匀动能在0.1~0.2ev之间。


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