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真空镀膜设备的操作程序请参阅设备说明书、真空镀膜机仪表板指针显示及各旋钮下的注意事项。
① 检查真空镀膜设备的操作控制开关是否在“off”位置。
② 打开总电源开关,真空镀膜设备通电。
③ 拉出低压阀。打开充气阀,当听不到气流声时,启动钟罩阀,钟罩上升。
④ 安装固定式钨丝加热器。PVDF膜和铝盖板固定在转盘上。将铝线放入螺旋加热器。清洁钟罩的所有零件,确保没有杂质。
⑤ 把钟罩放下。
⑥ 启动真空镀膜设备的真空机械泵。
⑦ 打开复合真空计电源(复合真空计型号:fzh-1a)。
A.顺时针转动左侧旋钮“1”至加热位置,指向第2部分。
B低真空表“2”的指针顺时针移动。当指针移动到110mA时,左旋钮“1”旋转指向第2段的测量位置。
⑧ 当低真空表“2”中的指针再次顺时针移动到6.7pa时,低压阀被推入。此时,左旋钮“1”旋转指向截面1的测量位置。
⑨ 开启真空镀膜设备冷却水,启动扩散泵,加热40分钟。
⑩ 拉出低压阀。重复动作步骤(7):转动左下旋钮“1”指向第2节的测量位置。低真空表“2”中的指针顺时针移动。当指针移到6.7pa时,打开高压阀(阀杆顺时针旋转)。
当低真空表“2”中的指针向右移动到0.1pA时,打开仪表灯丝开关。
A.将排放和零点测量按钮“9”旋转到排放位置。
B转动左下旋钮“1”指向截面1的测量位置。