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真空镀膜机检漏方法分析

2021-06-25 14:24:38

真空镀膜机生产厂家对漏风的检查是保证真空镀膜机真空度的一种检查方法,简称检漏,真空度的高低直接影响到镀膜的作用,所以检漏是必不可少的。

通常情况下,真空室中的空气泄漏发生在真空室壁上的一些小孔或部件之前的接头中。抽气系统抽气时,真空室内的压力降低,内外压差使气体从外部高压流到低压真空室,形成低真空度的真空室。

真空镀膜机


真空镀膜机厂家介绍,在检漏过程中,需要注意的一些问题,才能做好检漏工作。

1、要承认虚漏还是实漏,因为工件数据加热后会不同程度地产生气体,可能会误以为是从外面流入的气体,这就是虚漏,这种情况应该消除。

2、测试真空室的气封功能,确保气封功能符合要求。

3、检查漏点的大小、形状、方位和漏风速度,制定处理方案并实施。

4、确定检测仪器的最小检漏率和灵敏度,限度地检出漏风,防止漏风被忽略,提高检漏精度。

5、掌握检漏仪的反应时间和排除时间,抓好时间,确保检漏仪工作到位。如果时间较短,检漏效果肯定较差。如果时间长了,检漏煤气费和人工电费就白费了。

6、要防止渗漏堵塞。有时在检漏过程中,由于操作不当,一些灰尘或液体堵塞了泄漏,认为这个方向没有泄漏。但是,当由于内外压差或其他原因导致泄漏未被堵住时,泄漏仍然存在。


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