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什么是离子镀
离子镀:蒸发物质的分子被电子碰撞电离,与离子沉积在固体表面,称为离子镀。
离子镀是真空蒸发和阴极溅射技术的结合。一种离子镀系统,其中基底级用作阴极,外壳作为阳极,注入惰性气体(如氩气)以产生辉光放电。从蒸发源蒸发的分子在通过等离子体区域时电离。正离子被衬底级的负电压加速到衬底表面。联合的中性原子(约95%的蒸发材料)也沉积在基底或真空室壁上。电场对离子化蒸汽分子的加速作用(离子能量约为几百到几千电子伏)和氩离子对基底的溅射清洗作用大大提高了薄膜的结合强度。
离子镀工艺结合了蒸发(沉积速率高)和溅射(薄膜附着力好)工艺的特点,具有良好的衍射性能。可用于复杂形状工件的涂装。