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在真空镀膜设备自动控制系统中，控制系统的性能指标是其精度、可靠性和实现速度。对于真空压力的自动控制和调节系统，有许多指标的要求。
1、自动控制系统的稳定性
当自动控制系统的给定值发生变化或受到干扰时，控制量会发生变化并偏离初始值。由于受反馈环节的影响，装置可利用设备内部控制系统的自动调节功能，调整到回到原来的稳定值，或在给定值下缓慢稳定。然而，由于系统内部的相互影响，系统的状态也可能是不稳定的。因此，对于所有的自动控制系统，我们的首要要求是满足系统的稳定性。
2、自动控制系统的动态特性
真空镀膜机自动控制系统的动态性能指标是一系列系统暂态性能参数。一般来说，需要在系统中设定一个步进单元在某一时刻的给定值，然后根据系统过渡过程曲线上相应的参数来表示控制系统的“动态特性”，从而使这种控制系统在不同条件下的动态特性具有可比性。
（1） 振荡频率：控制量在给定时间内的振荡次数。振荡频率越小，控制系统的动态性能越好。
（2） 作为速度调节系统的指标。调整时间，又称恢复时间，是指控制系统接收到步进单位给定值的信号时，设备从过渡状态到允许偏差恢复所需的短时间。
（3） 以系统稳态偏差作为控制指标。在步进单元给定值的影响下，器件过渡到稳态时的残余差。
（4） 偏差大：控制量与给定值的偏差差。过渡过程曲线的峰值与给定值的差值。
（5） 衰减比：用于测量控制系统的稳定性指标。指同一方向上相邻两个波的振幅比，一般在4:1到10:1之间。
