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多弧镀膜机的特点
多弧镀膜机的突出特点是可以产生由高电离蒸发物质组成的等离子体,其中离子具有高动能。蒸发、电离和加速主要集中在阴极点和附近的一小部分区域。那么我们的多弧镀膜机的性能特点是什么呢?让我们一起学习吧。
(1) 入射粒子能量高,涂层密度高,强度和耐久性好。
(2) 电离率高,一般可达60%-80%。
(3) 电弧不仅是蒸发源和电离源,也是离子溅射清洗的热源和离子源。
(4) 沉积速度快,卷绕性能好。
(5) 最显著的特点是从阴极直接产生等离子体。
(6) 设备相对简单,使用低压电源工作安全。
(7) 多弧镀膜机的外加磁场可以改善电弧放电,使电弧细化,细化镀膜粒子,提高带电粒子率,改善阴极靶材表面刻蚀的均匀性,提高靶材的利用率。